Direzione di sviluppo dell'attrezzatura per il taglio di wafer di silicio a filo diamantato
1) L'elevata velocità di linea e l'elevata capacità produttiva supportano la riduzione dell'investimento in singoli GW
Secondo la teoria della meccanica della frattura e le proprietà dei materiali siliconici, Quando la profondità di taglio massima dei grani abrasivi diamantati è maggiore della profondità di taglio critica dei materiali siliconici, Si verificherà il passaggio dal taglio della plastica al taglio della frattura fragile. Pertanto, all'interno dell'intervallo consentito del carico del filo diamantato, Aumentare in modo appropriato la velocità del filo d'acciaio nel processo di taglio multifilo è vantaggioso per la rimozione del materiale di silicio nel dominio della duttilità, e la qualità della superficie del wafer di silicio sarà migliorata. La tabella seguente mostra il confronto del taglio a diverse velocità di linea. Con l'aumento della velocità della linea, il tempo di processo si riduce, e si aumenta la capacità produttiva giornaliera di una singola macchina.
Tavolo 1 Confronto del taglio a diverse velocità del filo
Per i produttori di apparecchiature per il taglio di wafer di silicio, considerando al contempo la riduzione dei costi, È necessario migliorare ulteriormente la stabilità complessiva dell'apparecchiatura, in particolare la stabilità del controllo della tensione, la stabilità della scatola dei cuscinetti del mandrino e la resistenza dell'attrezzatura. Adesso, La velocità della linea di affettatura tradizionale sul mercato è di 1800 ~ 2100 m/min. Poiché 2017, L'aumento della velocità della linea di affettatrici ha iniziato a differenziare. Presso 2019, Alcuni produttori di affettatrici a filo diamantato sono soggetti alla selezione del percorso tecnico e alle proprie capacità di ricerca e sviluppo. Il limite viene mantenuto a 1800 m/min, e alcuni produttori con una forte R&Le capacità D continuano ad aumentare la velocità della linea a 2400 m/min, l'innalzamento degli ostacoli tecnici. Con il miglioramento delle attrezzature di taglio e della tecnologia del filo diamantato, Anche la velocità del filo sarà ulteriormente migliorata. L'andamento futuro è atteso come segue
Tavolo 2. Tendenza di sviluppo della velocità della linea di taglio
L'aumento della velocità del filo di taglio, combinato con il miglioramento della capacità di taglio del filo diamantato, accorcia il tempo di taglio di ogni coltello e aumenta la capacità produttiva giornaliera di ogni attrezzatura. In 2016, quasi 40 erano necessari affettatori per GW di capacità produttiva, ma al momento, con l'aumento della velocità della linea e della capacità di carico, soltanto 16 affettatrici per GW di capacità produttiva; Per il miglioramento della potenza del singolo chip, nel prossimo futuro, l'investimento per GW slicer sarà inferiore. Pertanto, Investimenti in immobilizzazioni, così come i successivi costi dell'acqua e dell'elettricità, Costi di manutenzione, e i costi di manodopera saranno ridotti per le aziende che pianificano nuova capacità produttiva e prevedono di aumentare la capacità produttiva.
2)La miniaturizzazione delle attrezzature di taglio supporta la riduzione dello spazio di una singola officina GW
L'affettatrice deve ottenere una maggiore stabilità e un'elevata velocità di linea. Oltre a concentrarsi sulla ricerca sul motore mandrino, la lubrificazione e il raffreddamento del rullo principale, la precisione della camera di taglio del rullo principale, e il sistema di raffreddamento e lubrificazione del taglio, È inoltre necessario ottimizzare la struttura complessiva dell'attrezzatura. I percorsi di avvolgimento e svolgimento del filo diamantato devono essere ulteriormente accorciati per ridurre le fluttuazioni di tensione. Mentre le prestazioni delle attrezzature da taglio saranno migliorate in futuro, La struttura complessiva sarà più compatta e miniaturizzata. La riduzione dello spazio di un singolo dispositivo riduce notevolmente anche lo spazio di un singolo impianto GW per un nuovo impianto, in modo da poter ridurre in una certa misura il costo di investimento dell'impianto.
