다이아몬드 와이어 실리콘 웨이퍼 절단 장비의 개발 방향
1) 높은 라인 속도와 높은 생산 능력은 단일 GW 투자 감소를 지원합니다.
파괴 역학 이론과 실리콘 재료의 특성에 따르면, 다이아몬드 연마 입자의 최대 절삭 깊이가 실리콘 재료의 임계 절삭 깊이보다 클 때, 플라스틱 절단에서 취성 파괴 절단으로의 전환이 발생합니다.. 그러므로, 다이아몬드 와이어 하중의 허용 범위 내에서, 다중 와이어 절단 공정에서 강선 속도를 적절하게 증가시키면 연성 영역에서 실리콘 재료를 제거하는 데 유리합니다., 실리콘 웨이퍼 표면의 품질이 향상됩니다.. 아래 표는 다양한 라인 속도에서의 절단 비교를 보여줍니다.. 라인 속도가 증가함에 따라, 공정 시간 단축, 단일 기계의 일일 생산 능력이 증가합니다..
테이블 1 다른 와이어 속도에서의 절단 비교
실리콘 웨이퍼 절단 장비 제조업체용, 비용 절감을 고려하면서, 장비의 전반적인 안정성을 더욱 향상시킬 필요가 있습니다., 특히 장력 제어의 안정성, 스핀들 베어링 박스의 안정성과 장비의 강도. 현재, 시장의 주류 슬라이싱 라인 속도는 1800 ~ 2100m / min입니다.. 이래 2017, 슬라이싱 기계 라인 속도의 증가가 차별화되기 시작했습니다.. 곁에 2019, 일부 다이아몬드 와이어 슬라이싱 기계 제조업체는 기술 경로 선택 및 자체 연구 개발 능력의 적용을 받습니다.. 한계는 1800m / min으로 유지됩니다., 그리고 강한 R을 가진 몇몇 제조자&D 기능은 라인 속도를 2400m/min으로 계속 증가시킵니다., 기술 장벽 강화. 절단 장비 및 다이아몬드 와이어 기술의 개선으로, 와이어 속도도 더욱 향상됩니다.. 향후 개발 추세는 다음과 같이 예상됩니다.
테이블 2. 슬라이스 라인 속도의 발전 추세
절삭선 속도 증가, 다이아몬드 와이어 절단 능력의 향상과 결합, 각 나이프의 절단 시간을 단축하고 각 장비의 일일 생산 능력을 증가시킵니다.. 안으로 2016, 거의 40 생산 능력의 GW 당 슬라이서가 필요했습니다., 그러나 현재, 라인 속도 및 적재 능력의 증가로, 오직 16 생산 능력의 GW당 슬라이서; 단일 칩 전력 향상을 위해, 가까운 장래에, GW 슬라이서 당 투자는 더 적을 것입니다.. 그러므로, 고정 자산에 대한 투자, 뿐만 아니라 나중에 물과 전기 비용, 유지 보수 비용, 새로운 생산 능력을 계획하고 생산 능력을 늘릴 계획이있는 회사의 인건비가 절감됩니다..
2)절단 장비의 소형화는 단일 GW 작업장의 바닥 공간 감소를 지원합니다.
슬라이서는 더 높은 안정성과 높은 라인 속도를 달성해야 합니다.. 스핀들 모터에 대한 연구에 집중하는 것 외에도, 메인 롤의 윤활 및 냉각, 메인 롤의 절단 챔버의 정확도, 그리고 절단 냉각 및 윤활 시스템, 또한 장비의 전체 구조를 최적화해야합니다.. 다이아몬드 와이어의 테이크 업 및 페이 오프 경로는 장력 변동을 줄이기 위해 더 짧아야합니다.. 절단 장비의 성능은 향후 향상 될 것입니다., 전체 구조가 더 작고 소형화됩니다.. 단일 장치의 바닥 면적을 줄이면 새 공장을위한 단일 GW 플랜트의 바닥 공간도 크게 줄어 듭니다., 따라서 공장의 투자 비용을 어느 정도 줄일 수 있습니다..
